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氮化鎵 (GaN) 外延片
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潤新微電子提供具有更高性價比、穩定可靠的氮化鎵產品,致力于推動電能轉換革命!

■ 控制生長條件實現優異的二維電子氣

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■ 原位氮化硅沉積提供了優良的動態性能,提高器件可靠性

■ 控制生長條件實現的高均勻性和重復性


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Key Features:

 ● High Vertical Breakdown Voltage: >1000V

 ● Low Leakage Current @Sub. Ground:<0.1uA/mm2@600V

● Bow X/Y: +/-45um

Typical Applications:

● 650V HEMTs

● 650V Diodes

Parameters Measurements
Substrate 6” 1mm <111> p-type Si
Epi ThickAvg ~5um
Epi ThickUnif <2%
Bow +/-45um
Cracking <5mm
Vertical BV >1000V
HEMT Al% 25-35%
HEMT ThickAvg 20-30nm
Insitu SiN Cap 5-60nm
2DEG conc. ~1013cm-2
Mobility ~2000cm2/Vs (<2%)
Rsh <330ohm/sq (<2%)



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